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    真空感应化学气相沉积炉
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    真空感应化学气相沉积炉

    产品简介:真空感应化学气相沉积炉是在真空条件或保护气氛下,利用中频感应原理将置于感应线圈内的石墨坩埚加热,石墨坩埚中放入被制备的碳---碳复合材料。在一定真空度下将坩埚加热到规定温度,并通入稀释的碳氢气体。该气体中含碳活性基团分解后便沉积于材料表面。这样制备的复合材料,其耐磨性将大大增加。本设备适用于化学气相沉积法制备碳---碳复合材料,也可作为硬质合金制品的烧结以及高温石墨化的设备。
        主要用途:应用于化学气相沉积法制备碳—碳复合材料,也可做为硬质合金制品和高温热处理工艺的设备。
        主要特点:1.有上出料和下出料两种方式。
        2.炉温均匀性好。
        3.能配多?#20013;?#24335;的过滤器,过滤效果好。
        4.可配多?#20998;?#37327;流量计充气系统。
        5.炉内气氛压力可自动控制。

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